接合強度測定方法及びこの方法を用いた接合強度測定装置並びに接合強度変動検出器

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特許第4876241
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案件情報

特許権
ジャンル:
電気・電子
登録番号:
特許第4876241
共通項目
希望取引:
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  • 相談可
権利者:
国立大学法人岡山大学

説明

目的

微小な接合用金属と被接合用金属との接合強度を、精度よく測定可能な接合強度測定方法及び接合強度測定装置を提供する。

技術概要

図1に示す、接合用金属12-1、12-2と、この接合用金属が接合された被接合用金属11-1、11-2との接合部に通電し、接合用金属の電位を被接合用金属11-3の電位を基準として測定部18により測定し、この電位の測定結果を解析することにより接合用金属と被接合用金属との接合強度を算定する接合強度の測定方法及び測定装置において、被接合用金属には第1の接合用金属12-1と第2の接合用金属12-2を接合して、第1の接合用金属から被接合用金属に通電部17により測定用の電流を入力するとともに、第2の接合用金属から電流を出力させながら、第1の接合用金属の電位と第2の接合用金属の電位を測定する。解析部19は、測定部18の第1電位測定回路18a-1及び第2電位測定回路18a-2から出力された測定結果の電圧情報信号を解析する解析用回路を有す。また、第1の接合用金属12-1と、第2の接合用金属12-2と、被接合用金属13の少なくともいずれか一つの温度を第1温度計測部15、第2温度計測部16で計測して、計測された温度に基づいて第1の接合用金属の電位及び/または第2の接合用金属の電位の測定結果を補正し接合強度を算定する。

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