分光計測方法及び分光計測装置
ライセンス
売買
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案件情報
特許権
ジャンル:
その他
登録番号:
特許第4403272
共通項目
希望取引:
- ライセンス
- 売買
- 相談可
権利者:
国立大学法人岡山大学
説明
目的
測定試料の形状および物性および設置方法を限定せずに、測定試料によって反射したテラヘルツパルスの振幅強度情報と位相情報を含む測定を行う方法および装置の提供する。技術概要
レーザーパルスを用いて発生させたテラヘルツパルス光を測定対象に照射し測定対象から反射する反射光を検出する分光光学系とレーザーを用いて測定対象と分光光学系との相対位置を検出する位置計測装置を備える分光計測装置を構成し、検出した相対位置情報を用いて、分光光学系の遅延装置を補正する。これにより、測定試料の形状および物性および設置方法を限定せずに、測定試料によって反射したテラヘルツパルス光の振幅強度情報と位相情報を含む測定を可能とする。パルスレーザー１から出力されたレーザーパルスＬ１は、ハーフミラー２によって、２つのレーザーパルスＬ２とＬ３に分岐される。分けられた一方のレーザーパルスＬ３は、テラヘルツ発生器１２へ照射される。この結果発生するテラヘルツ光Ｌ５は、非軸放物面鏡１０、１１により測定試料９へ集光される。測定対象で反射したテラヘルツ光Ｌ４は、非軸放物面鏡７、８によりテラヘルツ検出器６へ集光される。遅延装置３によりレーザーパルスＬ２がテラヘルツ検出器６へ到達する時間を変化させながら、テラヘルツ検出器６に入射したテラヘルツ光Ｌ４の振幅強度を検出することでテラヘルツパルス光の時系列波形を再生することが可能となる。